Полное описание

Ар16-5845
Юрьев, Ю. Н. Свойства тонких пленок оксида титана (TiO₂) и аморфного углерода (a-C), осажденных с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07 / Ю. Н. Юрьев. - Томск : [б. и.], 2016. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22. - 120 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
31.17.15	546.821-31.03:539.216.2(043)
	546.21-161.03:539.216.2(043)

Кл.слова (ненормированные): покрытия -- функциональные характеристики -- осаждение
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽