Полное описание

Ар16-4364
Шаверина, А. В. Комплекс ИСП-АЭС методик анализа кремния, германия и их оксидов : автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.02 / А. В. Шаверина. - Новосибирск : [б. и.], 2016. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22. - 120 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
31.17.15	546.28.04:543.423.1(043)
	546.289.04:543.423.1(043)

Кл.слова (ненормированные): количественный химический анализ -- полупроводниковые материалы -- плазма
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽