Полное описание

Ар15-9073
Тысченко, И. Е. Физические процессы при ионно-лучевом синтезе структур на основе кремния : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.10 / И. Е. Тысченко. - Новосибирск : [б. и.], 2015. - 40 с. : ил. - Библиогр.: с. 33-40. - 120 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.9-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): гетероструктуры -- кремний -- ионный синтез
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽