Полное описание

Ар15-1554
Пауткин, В. Е. Разработка технологии формирования кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14 / В. Е. Пауткин. - Пенза : [б. и.], 2014. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-22 (28 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
59.31.31	531.768(043)

Кл.слова (ненормированные): акселерометры -- температурный диапазон
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽