Полное описание

Ар14-8374
Сухова, А. В. Разработка промышленной технологической схемы синтеза трихлорсилана : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.17.01 / А. В. Сухова. - Волгоград : [б. и.], 2014. - 28 с. : ил. - Библиогр.: с. 28 (4 назв.). - Тираж не указ. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
61.37.37	661.718.5.091(043)

Кл.слова (ненормированные): поликристаллический кремний -- кремнийсодержащие соединения -- микроэлектроника
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽