Полное описание

Ар14-7265
Карташов, Д. А. Методы экспрессной обработки результатов относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии для контроля многослойных структур микро- и наноэлектроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13 / Д. А. Карташов. - М. : [б. и.], 2014. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-26. - 18 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.01.81	621.3.049.76:658.562(043)
	621.38-022.532(043)

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные приборы -- наноэлектроника -- производство -- технический контроль
Аннотация: Разработаны новые методы обработки информативных сигналов относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии для получения более точной информации о характеристиках многослойных структур, применяемых в микро - и наноэлектронике (повышение точности данного метода контроля).
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽