Полное описание

Ар14-5613
Корольков, В. П. Лазерные литографические системы и технологии синтеза рельефно-фазовых оптических элементов : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 01.04.05 / В. П. Корольков. - Новосибирск : [б. и.], 2013. - 44 с. - Библиогр.: с. 35-44. - 120 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
81.37.13	681.7.02(043)

Кл.слова (ненормированные): оптические элементы -- производство -- фотолитография
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽