Полное описание

Ар14-3711
Безбабный, Д. А. Исследование формирования, структуры и свойств пленок полупроводниковых силицидов кальция на Si(111) : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / Д. А. Безбабный. - Владивосток : [б. и.], 2014. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-18 . - 110 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9(043)

Кл.слова (ненормированные): кремниевые структуры
Аннотация: Формирование полупроводниковых силицидов кальция (Ca₂Si и Ca₃Si₄) на Si(111) в виде пленок различной толщины на кремниевых подложках, гетероструктур Si/Ca_xSi/Si на их основе и определение оптических и электрических параметров пленок и гетероструктур.
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽