Полное описание

Ар14-10903
Беседина, К. Н. Разработка методов управляемого формирования и исследование тонкопленочных опаловых наноструктур : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / К. Н. Беседина. - М. : [б. и.], 2014. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (11 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76(043)
	621.38-022.532(043)

Кл.слова (ненормированные): опаловые наноструктуры -- микроэлектроника -- наноэлектроника
Аннотация: Показана разработка научных основ управляемого формирования заданной геометрии матриц тонких опаловых пленок для их использования в изделиях микро- и наноэлектроники.
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽