Полное описание

Ар13-8470
Линник, С. А. Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07 / С. А. Линник. - Томск : [б. и.], 2013. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 24 (7 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(043)

Кл.слова (ненормированные): плазмохимические реакторы -- электроды -- плазма
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽