Полное описание

Ар13-5226
Курочка, А. С. Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. С. Курочка. - М. : [б. и.], 2013. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-24 (16 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.01.81	621.315.592.9-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): мдп-структуры -- травление -- технический контроль
Аннотация: Установление особенностей и возможности использования ионно-электронной эмиссии для неразрушающего контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления тонкопленочных гетерокомпозиций металл - диэлектрик - полупроводник.
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽