Полное описание

Ар13-31923
Шаяпов, В. Р. Физико-химические свойства пленок, образующихся в плазмохимическом процессе осаждения из паров гексаметилдисилазана : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 02.00.04 / В. Р. Шаяпов. - Новосибирск : [б. и.], 2013. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-21. - 120 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
31.21.29	547.245.03:539.216.2(043)

Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- кремнийорганические соединения -- газовая фаза
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽