Полное описание

Ар13-16169
Хмеленин, Д. Н. Электронная микроскопия композиций на основе тонких пленок для микроэлектроники : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / Д. Н. Хмеленин. - М. : [б. и.], 2013. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (13 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.76:620.187(043)

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные приборы -- производство -- контроль -- управление качеством
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽