Полное описание

Ар13-14726
Алексеев, П. А. Исследование распределения зарядов и электрических полей в приборных наноструктурах методами сканирующей зондовой микроскопии : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / П. А. Алексеев. - СПб. : [б. и.], 2013. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.01.77	621.3.049.76(043)

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные приборы -- наноструктуры -- методы исследования
Аннотация: Развитие и применение методов сканирующей Кельвин-зонд микроскопии для исследования электрофизических свойств материалов и структур современной микро- и наноэлектроники, а именно: нанотонких слоев диэлектриков SiO₂, Si₃N₄, LaScO₃, гетероструктур на основе соединений GaAs, InAs и близких к ним твердых растворах, а также GaAs нанопроводов в целях оптимизации их применения в приборных разработках.
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽