Полное описание

Ар13-12445
Саврук, Е. В. Структура и свойства поликристаллического альфа-Al2O3, модифицированного мощным лазерным излучением : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07 / Е. В. Саврук. - Томск : [б. и.], 2013. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22 (17 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.35	621.3.049.77-047.84:621.37043)

Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- производство -- обработка лазерная
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽