Полное описание

Ар13-11387
Шемухин, А. А. Дефектообразование и рекристаллизация в пленках кремния на сапфире при ионном облучении : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.20 / А. А. Шемухин. - М. : [б. и.], 2013. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22 (10 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.9-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): кремниевые структуры -- производство
Аннотация: Экспериментально изучены процессы образования дефектов в пленках кремния на сапфире под действием ионного облучения и выявлены механизмы эпитаксиальной твердофазной рекристаллизации.
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽