Полное описание

Ар12-13690
Белаш, А. О. Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. О. Белаш. - СПб. : [б. и.], 2012. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 19 (4 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.31.26	681.785.574(043)
47.13.81	621.315.592:658.562(043)

Кл.слова (ненормированные): фурье спектрометры -- полупроводники -- параметры -- измерение -- технический контроль
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽