Полное описание

Ар12-10485
Орешков, М. В. Разработка измерительного комплекса для контроля и исследования субмикронной КМОП технологии электрофизическими методами : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.10 / М. В. Орешков. - М. : [б. и.], 2012. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-19 . - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.01.81	621.3.049.771.14-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): большие интегральные схемы -- производство -- технический контроль -- измерительный комплекс
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽