Полное описание

Ар11-3291
Сагунова, И. В. Исследование и модификация наноструктур с использованием токовых режимов зондовой микроскопии и литографии : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / И. В. Сагунова. - М. : [б. и.], 2010. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23 (16 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84(043)
	621.3.049.76:620.187(043)

Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- наноструктуры -- производство -- диагностика -- локальное зондовое окисление -- сканирующая электропроводящая микроскопия
Аннотация: Развитие метода локального зондового окисления и сканирующей электропроводящей микроскопии для создания и диагностики наноструктур.
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽