Полное описание

Ар11-2853
Шатунов, В. В. Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур : автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.08 / В. В. Шатунов. - М. : [б. и.], 2011. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-24 (8 назв.). - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Гос. НИИ химии и технологии элементоорган. соединений (ГНЦ РФ "ГНИИХТЭОС")

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые приборы -- производство -- вспомогательные материалы
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽