Полное описание

Ар11-23448
Пинаев, А. Л. Создание и 3Д-характеризация металлических наноструктур на поверхности полимера с использованием метода динамической силовой литографии и сканирующей силовой микроскопии : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.01 / А. Л. Пинаев. - СПб. : [б. и.], 2011. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19.03	538.91-022.532(043)

Кл.слова (ненормированные): наноструктуры -- динамическая силовая литография -- геометрические параметры -- измерение
Аннотация: Развитие метода динамической силовой литографии (ДСЛ) для создания проводящих наноструктур на поверхности полимера с одновременными 3D-измерениями их геометрических параметров с нанометровым пространственным разрешением; исследование режима ДСЛ в сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) с пьезорезонансным зондовым датчиком с вольфрамовым (W) нанозондом для определения оптимальных параметров единого процесса "модификация - измерение"; определение метрологических возможностей СЗМ "NANOEducator" в режиме ДСЛ в системе "металл - полимер".
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽