Полное описание

Ар11-18026
Усов, С. П. Исследование пористых многофункциональных пленок диоксида кремния, модифицированного углеродом : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.04 / С. П. Усов. - Томск : [б. и.], 2011. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-19 (12 назв.). - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Томский гос. ун-т систем управления и радиоэлектроники

ГРНТИ	УДК
31.17.15	546.28-31.03:539.216.2(043)

Кл.слова (ненормированные): диоксид кремния -- тонкие пленки -- механизм формирования -- примесь углерода -- структура пленок -- электрофизические параметры
Аннотация: Исследование механизма формирования и влияния примеси углерода на структуру пленок диоксида кремния, его электрофизические параметры. Исследование возможности создания элементов электроники на основе пористых слоев диоксида кремния.
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽