Полное описание

Ар11-15236
Щелканов, И. А. Сильноточный импульсный магнетронный разряд с автоускорением плазмы : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 / И. А. Щелканов. - М. : [б. и.], 2011. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.793.182(043)

Кл.слова (ненормированные): металлические покрытия -- катодное распыление -- высокоскоростная технология -- магнетронный распылительный узел -- температурное поле -- тепловая модель катода
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽