Полное описание

Ар11-13927
Тупик, В. А. Разработка методов синтеза и обработки наноразмерных пленок : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.16.09 / В. А. Тупик. - СПб. : [б. и.], 2011. - 35 с. : ил. - Библиогр.: с. 30-35 (44 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
53.49.01	669.017:539.216.2-022.532(043)

Кл.слова (ненормированные): металлические пленки наноразмерные -- медные пленки -- титановые пленки -- фрактальная структура -- методы синтеза -- ионное магнетронное распыление -- нанолитография -- химическое травление
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽