Полное описание

Ар11-10614
Коломийцев, А. С. Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. С. Коломийцев. - Таганрог : [б. и.], 2011. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-23 (40 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.771.14-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): большие интегральные схемы -- микроминиатюризация -- подложки -- субмикронное профилирование -- фокусированные ионные пучки -- элементная база -- наноэлектроника -- микроэлектроника -- наносистемная техника
Аннотация: Разработка и исследование технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания перспективной элементной базы наноэлектроники, микро- и наносистем.
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽