Полное описание

Ар10-4278
Фам Куанг Тунг. Метод формирования регулярной матрицы нанокластеров кремния в системе "кремний - диоксид кремния" для элементов и устройств вычислительной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05 / Фам Куанг Тунг. - СПб. : [б. и.], 2009. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22 (10 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592-025.27(043)
	004.3-03(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽