Полное описание

Ар10-29038
Нечаев, М. А. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.09.03 / М. А. Нечаев. - Томск : [б. и.], 2010. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (10 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.793.14.06-52(043)

Кл.слова (ненормированные): магнетронное вакуумное напыление -- сканирование -- управление -- электропривод -- математическое моделирование
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽