Полное описание

Ар10-28508
Сивин, Д. О. Формирование ленточных и псевдоленточных пучков ионов металлов и плазмы : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.20 / Д. О. Сивин. - Томск : [б. и.], 2010. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-22 (38 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.9.048.7(043)
55.22.19	621.793.184(043)

Кл.слова (ненормированные): металлическая плазма -- генератор -- непрерывная вакуумная дуга -- алюминий -- ионная имплантация
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽