Полное описание

Ар10-23163
Тагаченков, А. М. Исследование электрофизических и морфологических свойств и поверхностных явление в гетерогенных твердотельных наноразмерных системах : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / А. М. Тагаченков. - М. : [б. и.], 2010. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-24 (9 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14(043)

Аннотация: Разработка физико-технологических основ комплекса аппаратных средств и высокоразрешающих методов диагностики электрофизических и морфологических свойств интегральных микросхем, изготовленных по субмикронным и наноразмерным проектным нормам, основанных на применении остросфокусированного ионного зонда и сканирующей зондовой микроскопии.
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽