Полное описание

Ар10-21058
Беспалов, А. В. Модификация эпитаксиальных слоев нитрида галлия в области дефектов роста методом периодического ионно-лучевого осаждения-распыления : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. В. Беспалов. - М. : [б. и.], 2010. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18 (14 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592-047.84(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽