Полное описание

Ар10-14899
Колпаков, В. А. Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.01 / В. А. Колпаков. - Самара : [б. и.], 2010. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 26-32 (54 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
81.37.09	681.7.03.02(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽