Полное описание

Ар09-871
Кралькина, Е. А. Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.08 / Е. А. Кралькина. - М. : [б. и.], 2008. - 40 с. : ил. - Библиогр.: с. 33-40(64 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.29.33	621.387.143(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽