Полное описание

Ар09-2867
Савенко, А. Ю. Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. Ю. Савенко. - СПб. : [б. и.], 2008. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 18(12 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.76.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽