Полное описание

Ар08-5787
Мьо Хейн Зо. Разработка и исследование процессов формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Мьо Хейн Зо. - М. : [б. и.], 2008. - 27 с. : ил. - Библиогр.: с. 26-27(12 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.76-047.84:776(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽