Полное описание

Ар08-2260
Обижаев, Д. Ю. Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано- и микросистемной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.02.01 / Д. Ю. Обижаев. - М. : [б. и.], 2008. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22(7 назв.). - Текст : непосредственный.
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽