Полное описание

Ар08-1086
Руденко, К. В. Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 05.27.01 / К. В. Руденко. - М. : [б. и.], 2007. - 45 с. - Библиогр.: с. 41-45. - 120 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.76:658.562(043)
	621.384-022.532:658.562(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽