Полное описание

Ар07-500
Хоботнев, О. Ю. Математическая модель формирования сплошных тонких пленок центрифугированием в производстве элементной базы микроэлектроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.18 / О. Ю. Хоботнев. - Воронеж : [б. и.], 2006. - 18 с. - Библиогр.: с. 16-18 (16 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.001.57(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽