Полное описание

Ар07-4685
Хидиров, М. С. Разработка плазмохимических методов получения полупроводниковых карбидных и нитридных пленок и порошков : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 02.00.04 / М. С. Хидиров. - Душанбе : [б. и.], 2006. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 22 (5 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592-416(043)
47.13.33	621.315.592-492.2(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽