Полное описание

Ар07-2142
Ююкин, Н. В. Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.06 / Н. В. Ююкин. - Воронеж : [б. и.], 2006. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 ( 12 назв. ). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.01.85	621.3.049.77-047.84:776(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽