Полное описание

Ар07-1954
Истомин, А. С. Повышения эффективности автоматизированного контроля процесса осаждения тонких пленок на основе емкостного метода : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.06 / А. С. Истомин. - Рыбинск : [б. и.], 2006. - 16 с. - Библиогр.: с. 14-16. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.384.002:658.562(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽