Полное описание

Ар07-сф69
Бойко, А. Н. Конструктивно-технологические особенности изготовления микроэлектромеханических устройств торсионного типа : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. Н. Бойко. - М. : [б. и.], 2006. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (10 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
45.31	621.31-181.4-047.84(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : СФ (1)
Свободны: СФ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽