Полное описание

Ар06-13211
Сдобняков, В. В. Радиационно-стимулированное формирование нитрида кремния в кремнии при последовательном облучении встречными пучками ионов азота и аргона : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / В. В. Сдобняков. - Н. Новгород : [б. и.], 2006. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18(18 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽