Полное описание

Ар06-10248
Тягинов, С. Э. Влияние неоднородности толщины диэлектрика на свойства туннельных МОП структур Al(1-4 нм)SiO2/Si : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / С. Э. Тягинов. - СПб. : [б. и.], 2006. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-18. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.323(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽