Полное описание

Ар05-7173
Фатьянова, Г. И. Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Г. И. Фатьянова. - М. : [б. и.], 2005. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22(34 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002.5(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽