Полное описание

Ар05-302
Кушхов, А. Р. Особенности ионно-плазменного травления арсенида галлия и фосфида индия применительно к элементам твердотельной электроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. Р. Кушхов. - Нальчик : [б. и.], 2004. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18(6 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592:621.794(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽