Полное описание

Ар04-5026
Копейкин, А. Н. Исследование и разработка материалов пленочных сорбентов и структур интегральных сорбционно-емкостных сенсоров для измерения влажности технологических газов микроэлектроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. Н. Копейкин. - М. : [б. и.], 2003. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 18-19 (9 назв.).

ГРНТИ	УДК
67.53.15	697.9(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽