Полное описание

Ар04-2335
Каратунов, Ю. В. Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Ю. В. Каратунов. - М. : [б. и.], 2003. - 27 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 27 (8 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.771.14.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽