Полное описание

Ар04-14868
Ануфриева, И. В. Исследование и разработка комплекса безмасляных средств форвакуумной откачки для оборудования высоких вакуумных технологий электронной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / И. В. Ануфриева. - М. : [б. и.], 2004. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (9 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.09	621.385.032.94(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽