Полное описание

Ар04-12322
Кочеров, А. Н. Разработка и исследование фотонно-стимулированных технологических процессов получения оксидных пленок кремния на SiC : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. Н. Кочеров. - Таганрог : [б. и.], 2004. - 17 с. - Библиогр.: с. 14-17(25 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.9.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽