Полное описание

Ар04-1168
Епимахов, И. Д. Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / И. Д. Епимахов. - М. : [б. и.], 2003. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 21-22 (12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽